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可信组件

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产品中心

REPRESENTATIVE PROJECT

产品名称

iS-MM-VOCs-4(VOCs传感器)

产品描述
  产品概述:
  基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物半导体气体传感器,用于检测空气中的有机可挥发物(VOCs)。传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚膜技术、陶瓷封装技术,专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和叉指电极的顶部,从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。